Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

ALD of metal nanofilms for 45 nm technology and beyond

45 nm 테크놀로지와 그 이후를 위한 금속계 나노 박막의 원자층 증착법

  • 김형준 (포항 공과 대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.05.26
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