Mechanistic study of chemical adsorption on silicon surface

실리콘표면에서 화학흡착에대한 메커니즘 연구

  • 이희순 (한국화학연구원, 경북대학교 화학과) ;
  • 장현주 (한국화학연구원, 나노물성) ;
  • 최철호 (경북대학교 화학과)
  • Published : 2005.05.26