Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Workfunction tunability of Ru-Ti bilayer structure for metal gate electrode

Ru/Ti bilayer metal electrode를 이용한 게이트 일함수 조절

  • 고한경 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이태호 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 박인성 (한양대학교 디스플레이공학연구소) ;
  • 김경래 (한양대학교 정보디스플레이공학과) ;
  • 이상설 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과, 한양대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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