Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Technical Development to make 1.0um Thickness Dielectric Layer Using Spin Coating Method

스핀 코팅 방법을 이용한 1.0um 유전체막 형성 기술 개발

  • 김형호 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 신효순 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 추호성 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 이영일 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 김용석 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 이정우 (삼성전기 중앙연구소 eMD Lab.)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

Keywords