Uniformity control of sol-gel derived $BaTiO_3$ thin film for MLCC(Multi-Layer Ceramic Capacitor) fabrication

초박층 MLCC 제조용 BaTiO3 유전체 박막의 균일성 제어

  • 이영일 (삼성전기(주) 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 신효순 (삼성전기(주) 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 김용석 (삼성전기(주) 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 김형호 (삼성전기(주) 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 추호성 (삼성전기(주) 중앙연구소 eMD Lab.) ;
  • 이정우 (삼성전기(주) 중앙연구소 eMD Lab.)
  • Published : 2005.05.26