Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.125-125
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- 2005
NDIR $CO_2$ Gas Sensor using MEMS-based Microbolometer
MEMS 기반 마이크로 볼로메타의 비분산식 이산화탄소 가스 센서 응용
- Han, Yong-Hui ;
- Kim, Sin-Geun ;
- Kim, Geun-Tae ;
- Lee, Seung-Hun ;
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Sin, Hyeon-Jun
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Mun, Seong-Uk
;
- Choe, In-Hun
- 한용희 (고려대학교 재료공학과, KIST 마이크로시스템 연구센터) ;
- 김신근 (KIST 마이크로시스템 연구센터) ;
- 김근태 (KIST 마이크로시스템 연구센터) ;
- 이승훈 (KIST 마이크로시스템 연구센터) ;
-
신현준
(KIST 마이크로시스템 연구센터)
;
-
문성욱
(KIST 마이크로시스템 연구센터)
;
- 최인훈 (고려대학교 재료공학과)
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords