Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
- /
- Pages.130-130
- /
- 2005
The effect on the dielectric constant of embedded thin film capacitor by plasma treatment
프라즈마 처리에 의한 임베디드 케패시터용 유전 박막의 유전 특성 영향
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords