Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2005.05a
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Pages.230-230
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2005

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Effect of Boron carbide thin films with RF power by plasma enhanced chemical vapor deposition

플라즈마 기상 증착법에 의한 보론카바이드 박막의 RF 변화에 따른 효과

연대흠 (고려대학교) ;
진정근 (고려대학교) ;
김길영 (고려대학교) ;
강호재 (고려대학교) ;
박현규 (고려대학교) ;
변동진 (고려대학교)

Published : 2005.05.26

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Abstract

Keywords