Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of bilayer morphology using UV-NIL system and metal deposition

UV-Nano imprint Lithography 를 이용한 bilayer 형성과 금속 증착

  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과 나노 소재 및 소자 연구실) ;
  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과 나노 소재 및 소자 연구실) ;
  • 이헌 (고려대학교 재료공학부)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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