Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Study on template fabrication method using nanoimprint lithography

나노 임프린트 리소그라피를 이용한 template 제작 방법에 관한 연구

  • 문강훈 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 최방림 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 재료공학부)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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