Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.239-239
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- 2005
Characterization of ZnO films with $Si_3N_4$ buffer on Si (001) substrates
실리콘 나이트라이드 완충층을 가지는 ZnO 박막의 특성 평가
- Jeong, Cheol-Won ;
- Han, Seok-Gyu ;
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Sim, Jae-Ho
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Kim, Hong-Seung
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Jo, Hyeong-Gyun
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- Kim, Hyo-Jin ;
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Hong, Sun-Gu
- 정철원 (충남대학교 재료공학과) ;
- 한석규 (충남대학교 재료공학과) ;
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심재호
(충남대학교 재료공학과)
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김홍승
(한국해양대학교 반도체물리)
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조형균
(동아대학교 신소재공학과)
;
- 김효진 (충남대학교 재료공학과) ;
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홍순구
(충남대학교 재료공학과)
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords