Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Physical analysis of silicon oxynitride deposited by PECVD

PECVD 법으로 증착된 silicon oxynitride 의 물성 분석

  • 조유정 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 한길진 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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