Growth of GaN thin-film using GaOOH precursor

GaOOH 선구물질을 이용한 GaN 박막 성장

  • 이재범 (한밭대학교 신소재공학부) ;
  • 김선태 (한밭대학교 신소재공학부)
  • Published : 2005.05.26