Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

TCR Properties of TaNx Thin Film Deposited by Reactive Sputtering

반응성 스퍼터링법으로 제조된 TaNx 박막 저항체의 TCR 특성 변화

  • 최용락 (순천향대학교 신소재공학과) ;
  • 김선화 (순천향대학교 신소재공학과) ;
  • 송규호 (순천향대학교 신소재공학과) ;
  • 한승용 (순천향대학교 신소재공학과) ;
  • 정준혁 (순천향대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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