Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Dynamic Heat-Flow Characteristics in Czochralski silicon-Ingot Growth by Numerical Simulation

초크랄스키 실리콘 단결정 성장시 단결정 성장 시뮬레이션을 이용한 dynamic heat-flux 특성에 관한 연구

  • 박준원 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 한인규 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 이곤섭 (한양대학교 나노 SOI 공정연구소) ;
  • 박재근 (한양대학교 나노 SOI 공정연구소)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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