Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Residual Stress in TiN films Deposited by Arc Ion Plating

아크 이온플레이팅으로 증착한 TiN 코팅의 잔류응력

  • 연제영 (한서대학교, 동양물산 중앙기술 연구소 재료연구실) ;
  • 장경욱 (한서대학교 신소재공학과) ;
  • 손윤호 ((주)유진 SMC)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

Keywords