나노임프린트 리소그래피를 통한 sub micron급 2차원 나노 패턴의 다층 구조물 제작에 관한 연구

  • 한강수 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 홍성훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이종화 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.05.19