한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

저 배율 렌즈를 이용한 Wafer 검사용 백색광 주사간섭계의 대면적 광학계 구성과 알고리즘 연구

A Study of White Light Interferometry Algorithm and consist of large area Optical System for Wafer Inspection

  • 조수용 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 고국원 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 고경철 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 김민영 (고영테크놀로지)
  • Cho, S.Y. (Dept. of Mech. Eng., Sunmoon Univ.) ;
  • Koh, K.W. (Dept. of Mech. Eng., Sunmoon Univ.) ;
  • Koh, K.C. (Dept. of Mech. Eng., Sunmoon Univ.) ;
  • Kim, M.Y. (Koh Young Technology Inc)
  • 발행 : 2006.10.18
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드