한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.173-174
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- 2006
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- 2005-8446(pISSN)
Water-soluble 폴리머와 DLC 코팅을 이용한 UV-NIL 스탬프 제작
Fabrication of UV-NIL Stamp by Using Water-soluble Polymer and DLC Coating
- 김기돈 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
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정준호
(한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터)
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- 알툰알리 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
- 이동일 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
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최대근
(한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터)
;
- 박상후 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터) ;
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이응숙
(한국기계연구원 지능형 정밀 기계연구부 나노 공정 장비연구센터)
- Kim, K.D. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
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Jeong, J.H.
(Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials)
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- Altun, A. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
- Lee, D.I. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
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Choi, D.G.
(Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials)
;
- Park, S.H. (Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials) ;
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Lee, E.S.
(Nano-Mechanical System Research Center, Korea Institute of Machinery and Materials)
- 발행 : 2006.10.18