Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2006.10a
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Pages.301-302
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2006
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of the Thin-Typed Alignment Stage for Fine Positioning

고정도, 초박형 Alignment Stage 개발

Kim, J.S. (Dept. of Mech. and Intel. sys. Eng., Pusan Univ.) ;
Hwang, J.D. (Dept. of Mech. and Intel. sys. Eng., Pusan Univ.) ;
Kim, M.S. (KNJ Precision Tech.) ;
Yoo, J.C. (Handok Precison Ind.) ;
Ahn, J.H. (Dept. of Mech. Eng., Pusan Univ.)

김지성 (부산대 대학원 지능기계공학과) ;
황진동 (부산대 대학원 지능기계공학과) ;
김명수 ;
유재천 (한독정공) ;
안중환 (부산대 기계공학부)

Published : 2006.10.18

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Abstract

Keywords