Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2006.10a
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  • Pages.503-504
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  • 2006
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Rapid SU-8 Mask Fabrication Technology for Micro Abrasive Jet Machining

미세 입자분사가공을 위한 쾌속 SU-8 마스크 제작 기술

  • Lee, S.P. (Dept. of Precision Mech. Eng. Chungbuk Univ.) ;
  • Lee, I.H. (School of Mech. Eng. Chungbuk Univ.) ;
  • Ko, T.J. (School of Mech. Eng. Yeungnam Univ.)
  • 이승표 (충북대학교 정밀기계공학과 대학원) ;
  • 이인환 (충북대학교 기계공학부) ;
  • 고태조 (영남대학교 기계공학부)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

Keywords