열경화방식 나노임프린팅 공정특성 및 요소설계

Process Characteristics and Elements Design of Thermal Imprinting System

  • 이재종 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 최기봉 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 최영휴 (창원대학교 기계공학과) ;
  • 안국진 ((주)새한)
  • 발행 : 2006.10.18