Fabrication of Large-area Microcavity Arrays Using Holographic Nanolithography Techniques

홀로그래픽 나노 노광 기술을 이용한 대면적 마이크로 공진기 어레이의 제작

  • 김정회 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 이선구 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 김창수 (LG-Phillips LCD 구미연구소) ;
  • 한해욱 (포항공과대학교 전자전기공학과)
  • Published : 2006.07.01