Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

TIF Based Material Removal Control for Deterministic Pitch Tool Polishing

결정론적 피치 툴 광학 연마를 위한 TIF기반 물질제거 제어기법

  • 이현수 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실, 한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 김석환 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실) ;
  • 양호순 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이재협 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이인원 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)
  • Published : 2006.07.01
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Abstract

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