광/엑스선 복합 간섭계와 원자현미경이 결합된 이차원 나노 길이 측정 장치

  • 박진원 (한국표준과학연구원 기반표준부) ;
  • 변상호 (한국표준과학연구원 기반표준부) ;
  • 김재완 (한국표준과학연구원 기반표준부) ;
  • 엄천일 (한국표준과학연구원 기반표준부)
  • 발행 : 2006.07.01