Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2006.07a
- /
- Pages.459-460
- /
- 2006
Relationship between BOE etch rate and refractive index of SiNx thin films deposited by PECVD
PECVD로 증착한 SiNx 박막의 BOE 식각률과 굴절률과의 관계
-
Kim, Tae-Eon
;
-
Kim, Seon-Hun
;
- Kim, Hyo-Jin ;
- Kim, Sang-Taek ;
-
Gi, Hyeon-Cheol
;
- Yang, Hak ;
- Kim, Jin-Hyeok ;
-
Kim, Hoe-Jong
-
김태언
(한국광기술원 광소자팀)
;
-
김선훈
(한국광기술원 광소자팀)
;
- 김효진 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 김상택 (한국광기술원 광소자팀) ;
-
기현철
(한국광기술원 광소자팀)
;
- 양학 (한국광기술원 광소자팀) ;
- 김진혁 (전남대학교 신소재공학부) ;
-
김회종
(한국광기술원 광소자팀)
- Published : 2006.07.01
Abstract
Keywords