Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Improving the efficiency in discharge pumped excimer laser

방전여기 엑시머 레이저의 고효율화 방안

  • Lee Young-Woo (Division of Information Electronics and Imaging Engineering, Mokwon University)
  • 이영우 (목원대학교 정보전자영상공학부)
  • Published : 2006.05.01
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Abstract

자외선영역에서 발진하는 엑시머 레이저 장치의 가스 장수명화에 의한 고효율화 방안을 제안하였다. 가스수명에 대하여 불소$(F_2)$의 감소와 불순물 발생에 의한 출력 변화의 이론적 해석 결과를 보고한다.

Keywords