Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Neural Network Model of Plasma Etch Radicals

플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링

  • 김우석 (세종대학교, 전자공학과) ;
  • 김병환 (세종대학교, 전자공학과)
  • Published : 2006.10.19
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Abstract

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