Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Tribological Properties of DLC Thin Film for the application to Solid Lubricant of MEMS devices

MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 DLC 박막의 트라이볼로지 특성

  • 최원석 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2006.10.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords