Study on the Effect of Organic Additives on the Ultra-micro Patterned Cu Electrodeposition

유기물 첨가제가 초미세패턴 구리도금에 미치는 영향 연구

  • 김덕진 (선문대학교) ;
  • 이주열 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 김만 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 최용 (선문대학교)
  • Published : 2006.10.19