Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.14-15
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- 2006
The effect of substrate bias for titanium nitride thin films deposited by cathode Arc method
cathode 아크 방법에 의해 증착된 TiN 박막에 대한 기판 바이어스 효과
Abstract
Keywords