Filtered Vacumm Arc (FVA) 증착법에 의해 합성된 ta-C박막의 열처리 효과

  • 이영광 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 김태영 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 오규환 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부)
  • Published : 2006.04.01