Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2006.04a
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Pages.75-76
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2006

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

A study on the conductive layer formation of Aluminium substrate for UBM layer

알루미늄 배선의 UBM층을 위한 전도성 피막 형성에 관한 연구

허진영 (한국생산기술연구원) ;
구석본 (한국생산기술연구원) ;
손성호 (한국생산기술연구원) ;
이상환 (한국생산기술연구원) ;
이홍기 (한국생산기술연구원)

Published : 2006.04.01

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Abstract

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