Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2006.04a
/
Pages.85-85
/
2006

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Effects of $CF_4\;and\;N_2$ on r.f. plasma treatment of Optical Lens Cleaning

RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 $CF_4$ 및 $N_2$ Gas 영향에 관한 연구

홍주형 (고등기술연구원 플라즈마기술센터 플라즈마팀) ;
신중욱 (고등기술연구원 플라즈마기술센터 플라즈마팀) ;
김상식 (고등기술연구원 플라즈마기술센터 플라즈마팀)

Published : 2006.04.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords