Preparation of Bi-Te thermoelectric thin films with sputtering and their characteristic properties

스퍼터링을 이용한 Bi-Te계 열전박막의 제조와 그 특성 연구

  • 김동호 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 김욱중 (한국기계연구원 에너지시스템연구센터)
  • Published : 2006.04.01