Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Annealing effect on residual stress in ZnO films produced by R.F. sputtering

R.F.sputtering으로 제조된 ZnO박막의 응력거동에 미치는 Annealing의 영향

  • 류상 (전남대학교 금속공학과 재료강도연구실) ;
  • 김영만 (전남대학교 금속공학과 재료강도연구실)
  • Published : 2006.04.01
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