플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 $SiO_xN_y$ 막의 flexible 평판 디스플레이에 적용하기 위한 확산 방지막으로의 효과

  • 김홍범 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 이준희 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학부)
  • Published : 2006.04.01