Cheracterization of D.C. magnetron sputtered TiN/Ti interlayer on AISI 420 stainless steel

AISI 420 스테인레스 기판위에 D.C. magnetron sputtering법으로 제조한 TiN박막의 Ti interlayer 도입에 따른 특성 평가

  • 송승우 (전남대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 김영만 (전남대학교 공과대학 금속공학과)
  • Published : 2006.04.01