Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2006.04a
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Pages.136-136
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2006

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Deposition of epitaxial SiC film using thermal MOCVD method

남상훈 (성균관 대학교 화학과) ;
현재성 (성균관 대학교 화학과) ;
지해근 (성균관 대학교 화학과) ;
부진효 (성균관 대학교 화학과)

Published : 2006.04.01

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Abstract

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