반도체 및 디스플레이 공정용 대용량 건식 진공펌프의 내구성평가에 관한 연구

• 김세환 (건양대학교 화공생명학과) ;
• 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술) ;
• 고문규 (건양대학교 화공생명학과) ;
• 정완섭 (한국표준과학연구원 음향진동) ;
• 신윤상 (한국표준과학연구원 음향진동)

• Kim Se-Hwan ;
• Im Jong-Yeon ;
• Go Mun-Gyu ;
• Jeong Wan-Seop ;
• Sin Yun-Sang

• 발행 : 2006.02.01

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