집속이온빔 장치를 이용한 RF $O_2-Plasma$ 처리한 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정

• 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 손창길 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 오현주 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
• 최은하 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 박병주 (광운대학교 전자물리학과) ;
• 강승언 (광운대학교 전자물리학과)

• Jeong Won-Hui ;
• Son Chang-Gil ;
• Jeong Gang-Won ;
• Im Yeon-Chan ;
• O Hyeon-Ju ;
• Park Cheol-U ;
• Choe Eun-Ha ;
• Seo Yun-Ho ;
• Park Byeong-Ju ;
• Gang Seung-Eon

• 발행 : 2006.02.01

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