한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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- Pages.112-112
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- 2006
집속이온빔 장치를 이용한 RF $O_2-Plasma$ 처리한 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정
- 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 손창길 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 오현주 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
- 최은하 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 박병주 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 강승언 (광운대학교 전자물리학과)
- Jeong Won-Hui ;
- Son Chang-Gil ;
- Jeong Gang-Won ;
- Im Yeon-Chan ;
- O Hyeon-Ju ;
- Park Cheol-U ;
- Choe Eun-Ha ;
- Seo Yun-Ho ;
- Park Byeong-Ju ;
- Gang Seung-Eon
- 발행 : 2006.02.01