낮은 에너지의 Ar 중성빔을 이용한 silicon의 atomic layer etching

  • 오창권 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 박상덕 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과)
  • 발행 : 2006.02.01