한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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- Pages.184-184
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- 2006
Preparation of $Al_2O_3/NiO/Al_2O_3$ Multi-layer Films for Nano-Floating Gate Memory by ALD
- 조원태 (한국화학연구원 박막재료 연구팀) ;
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이선숙
(한국화학연구원 박막재료 연구팀)
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안기석
(한국화학연구원 박막재료 연구팀)
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정택모
(한국화학연구원 박막재료 연구팀)
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김윤수
(한국화학연구원 박막재료 연구팀)
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정동근
(성균관대학교 물리학과)
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- 유일환 (홍익대학교 신소재 공학과) ;
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황진하
(홍익대학교 신소재 공학과)
- Jo Won-Tae ;
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Lee Seon-Suk
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An Gi-Seok
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Jeong Taek-Mo
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Kim Yun-Su
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Jeong Dong-Geun
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- Yu Il-Hwan ;
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Hwang Jin-Ha
- 발행 : 2006.02.01