반도체 공정용 부품 코팅막의 성능평가 연구

• 이지훈 (건국대학교 신소재공학과) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 문두경 (건국대학교 신소재공학과)

• Lee Ji-Hun ;
• Yun Ju-Yeong ;
• Gang Sang-U ;
• Seong Dae-Jin ;
• Sin Yong-Hyeon ;
• Mun Du-Gyeong

• 발행 : 2006.08.01

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