In-situ type Vacuum Gauge Calibration System의 자동화 및 용량형 진공게이지 교정

• Gang, Dong-Seok ;
• Hong, Seung-Su ;
• Im, In-Tae ;
• Kim, Jin-Tae ;
• Hwang, Sun-Ja ;
• Kim, Min-Su ;
• Yun, Cheong-Sik

• 강동석 (주식회사 브이티에스) ;
• 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 김진태 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 황순자 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 김민수 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
• 윤청식 (주식회사 브이티에스)

• Published : 2007.02.06

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