Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Evaluation of c-BN, h-BN films synthesized by r.f unbalanced magnetron sputtering on substrate bias voltage

  • 문장원 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 나종주 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 이인섭 (동의대학교 신소재.나노공학과)
  • Published : 2007.02.06
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