Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.157-158
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Micro-mechanical machining and SAM coating for sub-micro line patterning on silicon

미세 기계가공법과 SAM을 이용한 폭 $1{\mu}m$ 이하의 실리콘 선 가공

Oh, T.S. ;
Kim, D.E.

오태석 (연세대학교 기계공학과) ;
김대은 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2007.11.08

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Abstract

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