Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.06a
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Pages.29-30
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

The Chemical-Mechanical Coupled modeling on Material Removal Mechanism of Chemical-Mechanical Polishing

집중변수방법을 이용한 화학-기계적 연마공정의 TCM 연성모델

오승희 (중앙대학교 기계공학부 대학원) ;
석종원 (중앙대학교 기계공학부)

Published : 2007.06.20

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Abstract

Keywords