한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

집중변수방법을 이용한 화학-기계적 연마공정의 TCM 연성모델

The Chemical-Mechanical Coupled modeling on Material Removal Mechanism of Chemical-Mechanical Polishing

  • 오승희 (중앙대학교 기계공학부 대학원) ;
  • 석종원 (중앙대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2007.06.20
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드